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掃描電鏡樣品成像時邊緣特別亮的原因

日期:2025-07-04

在掃描電鏡(SEM)成像時,如果樣品邊緣特別亮,這是一個非常常見的現(xiàn)象,通常由以下幾個主要原因造成:

1. 邊緣效應(yīng)(Edge Effect)——二次電子增強發(fā)射

在 SEM 中使用二次電子(Secondary Electrons, SE)成像時:

邊緣、尖角、表面突起等區(qū)域,因為曲率較大或暴露面較多;

會比平坦區(qū)域發(fā)射出更多的二次電子;

這些增強的電子信號被探測器接收,就形成了“特別亮”的成像效果。

這是一種物理現(xiàn)象,不是圖像錯誤,而是有助于增強樣品細節(jié)對比的機制。

2. 樣品帶電效應(yīng)(Charging)也可能導(dǎo)致邊緣亮

對于不導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹臉悠罚ㄈ缇酆衔?、陶瓷、無噴鍍處理的材料):

邊緣區(qū)域更容易積聚電荷;

導(dǎo)致電子束局部偏轉(zhuǎn),產(chǎn)生異常電子發(fā)射;

成像時在邊緣或角落位置出現(xiàn)異常發(fā)亮、發(fā)白、甚至閃爍。

解決方法包括:

噴金或噴碳提高導(dǎo)電性;

降低電子束電流(beam current);

使用低電壓成像;

使用環(huán)境電鏡(ESEM)減少帶電。

3. 探測器位置與樣品幾何關(guān)系影響亮度

如果二次電子探測器位于樣品上方某一側(cè);

那么傾斜或邊緣面朝向探測器的區(qū)域就會更亮;

背離探測器的一側(cè)則可能變暗。

4. 圖像對比度與增益設(shè)置過高

有時圖像信號放大設(shè)置(Gain)過高,也會把正常的邊緣增強放大得過于明顯;

可通過調(diào)整圖像對比度(Contrast)或亮度(Brightness)來緩解。


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作者:澤攸科技