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掃描電鏡圖像為何可能會(huì)出現(xiàn)條紋或拖影?

日期:2025-05-29

掃描電鏡(SEM)圖像中出現(xiàn)條紋或拖影(smearing、streaks、drag)現(xiàn)象,通常反映了電子束掃描、樣品狀態(tài)或系統(tǒng)穩(wěn)定性的問題。以下是常見原因及解釋:

1. 樣品帶電

非導(dǎo)體樣品或?qū)щ姴涣紖^(qū)域容易積聚電子,形成局部電場(chǎng),使電子束偏轉(zhuǎn),導(dǎo)致圖像出現(xiàn):

條紋狀亮斑

圖像偏移或重復(fù)拖尾

解決方法:

在樣品表面噴金、碳等導(dǎo)電涂層

使用低加速電壓成像

使用環(huán)境掃描電鏡(ESEM)

2. 掃描速度過慢或電子束漂移

長時(shí)間掃描時(shí),如果樣品或電子束存在漂移,會(huì)導(dǎo)致圖像模糊或形成拖影。

常見原因包括:

樣品加熱或冷卻造成熱膨脹位移

鏡筒電子漂移

工作環(huán)境不穩(wěn)定(如溫度、磁場(chǎng)、空氣流)

解決方法:

穩(wěn)定室溫

縮短掃描時(shí)間(提高掃描速度)

等待樣品和系統(tǒng)熱穩(wěn)定后再掃描

3. 振動(dòng)干擾或電磁噪聲

環(huán)境振動(dòng)或電磁干擾可造成周期性圖像條紋,尤其表現(xiàn)為橫向或斜向線性條紋。

可能來源:

地板震動(dòng)、周圍設(shè)備運(yùn)作(如壓縮機(jī))

電源干擾(如接地不良或電源共地問題)

解決方法:

使用防震臺(tái)

排查接地系統(tǒng)

遠(yuǎn)離大功率電器或變壓器

4. 探測(cè)器信號(hào)問題

探測(cè)器本身存在故障或信號(hào)接觸不良,也會(huì)導(dǎo)致圖像中出現(xiàn)不規(guī)則紋理或噪聲線條。

建議檢查:

探測(cè)器是否干凈

接線是否松動(dòng)

放大電路是否工作正常

5. 數(shù)據(jù)傳輸錯(cuò)誤或圖像存儲(chǔ)損壞

在圖像數(shù)據(jù)采集、處理或保存過程中出現(xiàn)錯(cuò)誤,也可能造成圖像條紋或部分圖像拖尾。

可嘗試:

重啟 SEM 軟件或主機(jī)

再次采圖觀察是否可重現(xiàn)問題


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作者:澤攸科技