掃描電鏡（SEM）圖像邊緣模糊的確可能與調(diào)焦不當有關，但這只是眾多可能原因之一。下面是一些常見導致圖像邊緣模糊的原因和對應解決方法：

1. 調(diào)焦未精準對齊整個視野

原因：SEM 的焦點通常只對準了中心區(qū)域，邊緣離焦；

應對：

手動或自動對焦后，移動樣品位置對不同區(qū)域重新微調(diào)焦距；

使用“Z 軸調(diào)節(jié)”或“工作距離”微調(diào)，確保整個圖像平面都在焦點上。

2. 樣品表面不平或傾斜

原因：樣品傾斜，導致邊緣區(qū)域與電子束焦點不在同一平面；

應對：

使用傾斜臺調(diào)整樣品角度；

或更換為表面更平整的樣品。

3. 工作距離設置不當

原因：不同工作距離對應不同的景深，如果設置不合適，邊緣會模糊；

應對：

縮短工作距離以提高分辨率；

或根據(jù)樣品形狀調(diào)整最適景深。

4. 放大倍率過高但聚焦未同步優(yōu)化

原因：高倍率時圖像更敏感，輕微離焦也會導致模糊；

應對：

增加放大倍率時，重新調(diào)焦；

注意使用適當?shù)膾呙杷俣缺苊庠肼暩蓴_焦點。

5. 電子束發(fā)散或透鏡不穩(wěn)定

原因：鏡頭系統(tǒng)未充分穩(wěn)定或電磁干擾；

應對：

確保電子束穩(wěn)定運行；

盡量減少外部電磁干擾源，如移動手機、電風扇、電焊機等。

 6. 樣品表面帶電

原因：非導電樣品未進行金屬鍍膜，邊緣區(qū)域電荷積累；

應對：

對樣品進行導電鍍膜（如金、鉑、碳）；

或在低真空模式下觀察以減少充電效應。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡圖像邊緣模糊是因為調(diào)焦沒調(diào)好嗎。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢