掃描電鏡（SEM）可以非常有效地檢測金屬表面的缺陷。它是材料表面分析中常用、可靠的工具之一，尤其適用于微米甚至納米級別的缺陷觀察。

SEM 能檢測的金屬表面缺陷類型包括：

裂紋與微裂紋

可觀察早期疲勞裂紋、應力腐蝕開裂等，適用于失效分析。

孔洞與氣孔

可識別焊接或鑄造過程中產生的微小孔洞、疏松等問題。

表面劃痕與劃傷

放大后能清晰看到機械損傷、劃傷深度和方向。

表面粗糙度與加工痕跡

可定性觀察磨削、拋光、腐蝕等加工痕跡。

氧化層、腐蝕坑等化學反應結果

與能譜（EDS）聯(lián)用，還能判斷腐蝕產物成分。

顆粒污染或異物附著

檢測金屬表面是否有附著的顆粒、灰塵或其他雜質。

使用建議：

低加速電壓成像（如5–10?kV）：適用于表面細節(jié)觀察，避免電子束穿透。

使用二次電子模式（SEI）：提供表面形貌的高對比圖像。

搭配能譜儀（EDS）：進一步識別缺陷區(qū)域的元素組成。

斷口分析：配合斷口制樣，可判斷金屬斷裂的方式（如韌性斷裂、脆性斷裂等）。

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