掃描電鏡（SEM）中樣品在腔內出現(xiàn)“漂移”現(xiàn)象，通常表現(xiàn)為圖像位置緩慢移動或無法穩(wěn)定對焦，嚴重時甚至圖像模糊、重影。這種“漂移”多由環(huán)境因素、樣品特性或設備狀態(tài)引起。以下是常見原因與應對方法：

常見原因及解決方案：

1. 樣品未固定牢靠

原因：樣品未與樣品臺完全接觸，存在松動、翹曲或彈性變形。

解決：使用導電膠、碳膠帶或金屬夾具將樣品緊貼樣品托盤，確保牢固壓緊。

2. 樣品膨脹或脫氣

原因：濕樣品或低真空兼容性差的材料在抽真空過程中釋放氣體或微膨脹。

解決：

預烘干樣品（尤其是生物、聚合物、潮濕材料）；

考慮使用低真空或環(huán)境掃描電鏡（ESEM）；

減少束流強度，避免加熱導致氣化。

3. 靜電積聚導致樣品位移

原因：非導體樣品充電后產生靜電力，導致圖像漂移。

解決：

對樣品進行導電鍍膜（如金、鉑、碳）；

使用低加速電壓（如 <5 kV）；

加接地導線，或使用導電膠與樣品臺良好接地。

4. 熱漂移

原因：電子束照射樣品時產生微小熱膨脹，導致熱漂移。

解決：

預先用電子束低劑量“預照”樣品，等其達到熱穩(wěn)定；

減少電子束聚焦時間與強度；

等待樣品在腔體內“熱平衡”幾分鐘后再正式拍攝。

5. 環(huán)境震動或電磁干擾

原因：實驗室地面震動、電梯/空調設備干擾等。

解決：

使用減震桌、防震平臺；

盡量在設備周圍保持電磁環(huán)境穩(wěn)定；

關閉附近干擾源（如大型馬達、電焊機等）。

6. 樣品托盤或機械部件松動

原因：載物臺機械結構松動或定位不到位。

解決：

檢查樣品托盤是否擰緊；

檢查樣品桿、支架是否有間隙或磨損；

如長期存在，聯(lián)系維護人員檢查樣品臺系統(tǒng)。

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