掃描電子顯微鏡與圖像分辨力有關的幾個主要因素
在目前微觀形貌的分析研究中,隨著半導體器件等高新技術的發(fā)展,往往要求對表面的細微結構能夠更深入地觀察和了解,因此發(fā)展高分辨力的電鏡一直是生產廠商和用戶們所追求的共同目標。要獲得一張清晰、高分辨的照片,不僅要有一臺性能優(yōu)越的高分辨力掃描電子顯微鏡,而且還取決于試樣自身的特征和操作人員的工作經驗,即要考慮以下幾種因素:(1...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-27
在目前微觀形貌的分析研究中,隨著半導體器件等高新技術的發(fā)展,往往要求對表面的細微結構能夠更深入地觀察和了解,因此發(fā)展高分辨力的電鏡一直是生產廠商和用戶們所追求的共同目標。要獲得一張清晰、高分辨的照片,不僅要有一臺性能優(yōu)越的高分辨力掃描電子顯微鏡,而且還取決于試樣自身的特征和操作人員的工作經驗,即要考慮以下幾種因素:(1...
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二次電子是相對于入射電子的一種提法。它是指被高能入射(也稱為一次或初次)電子束轟擊出來的試樣中的核外電子。由于原子核和外層價電子間的結合能很小,當原子的核外電子從入射電子那里獲得大于相應的結合能后,就可脫離原子核的約束而成為自由電子。如果這種脫離過程發(fā)生在試樣表面和亞表面層,那么這些能量大于材料逸出功的電子就可以從試樣...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-25
當掃描電鏡的電子束轟擊試樣表面時,電子束會進入試樣內部,產生散射現象,電子束在散射后會改變前進方向,而且還會損失部分能量,隨之而來產生各種其他信息,如熱、俄歇電子、X射線、可見光、二次電子、背散射電子等。當入射電子與試樣相互作用后,其中有一部分電子會返回表面逸出,則這部分被返回表面逸出的原入射電子被稱為背散射電子。在實...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-25
臺式掃描電鏡由電子光學系統(tǒng)、信號收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)組成。 電子光學系統(tǒng):電子光學系統(tǒng)由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為使樣品產生各種物理信號的激發(fā)源?! ‰娮訕專浩渥饔檬抢藐帢O與陽極燈絲間的高壓產生高能量的電子束?! ‰姶磐哥R:其作用是把電子槍的束斑...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-24
掃描電子顯微鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時,被激發(fā)的區(qū)域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產生的電磁輻射。同時,也可產生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)。 原則上講,利用電子和物質的相互...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-24
桌面型掃描電鏡的掃描速度快,信號采集帶寬10M,可以在視頻模式下流暢實時的顯示樣品。只需鼠標就可完成所有操作,不需對中光闌等復雜步驟,聚焦消像散后可直接拍圖。 桌面型掃描電鏡的結構組成: 區(qū)別于傳統(tǒng)掃描電鏡的笨重機身,ZEM15主機成高壓及控制系統(tǒng),體積小巧,便于移動,安裝無需特殊環(huán)境,只需找一張桌子,...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-24
掃描電鏡能譜一體機是光學表征儀器產品的全明星,用戶通過一臺設備就可以實現形貌表征及元素分析功能。研究樣品時,得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。 掃描電鏡能譜一體機內部集成了用于分析樣品元素組分的能譜儀。對于很多既需要觀察表面形貌又要檢測表面元素組分分布的用戶非常適用,...
MORE INFO → 行業(yè)動態(tài) 2022-05-24
掃描電鏡帶能譜是一種體積小巧,可安放在實驗臺面上操作的臺式電子顯微鏡。它的電子光學系統(tǒng)、探測器、電路控制系統(tǒng)、信號采集系統(tǒng)和操作軟件均為自主研制。獨立研發(fā)的電子光學系統(tǒng)設計,使拍攝圖片具有更高的信噪比和對比度。配合很高的信號采集帶寬,可以在視頻幀率下高質量的流暢顯示樣品。只需鼠標就可完成所有操作,無需光闌對中等復雜步驟...
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