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認(rèn)識(shí)一臺(tái)掃描電鏡帶能譜儀從它的原理及主機(jī)的特色開(kāi)始

日期:2022-05-24

掃描電鏡帶能譜是一種體積小巧,可安放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上操作的臺(tái)式電子顯微鏡。它的電子光學(xué)系統(tǒng)、探測(cè)器、電路控制系統(tǒng)、信號(hào)采集系統(tǒng)和操作軟件均為自主研制。獨(dú)立研發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),使拍攝圖片具有更高的信噪比和對(duì)比度。配合很高的信號(hào)采集帶寬,可以在視頻幀率下高質(zhì)量的流暢顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作,無(wú)需光闌對(duì)中等復(fù)雜步驟。主機(jī)集成高壓及控制系統(tǒng),是目前市面上體積較小的臺(tái)式掃描電鏡,便于移動(dòng),安裝無(wú)需特殊環(huán)境。

  首先我們要了解掃描電鏡帶能譜的原理:

  從電子槍中發(fā)射出高能電子束撞擊樣品表面,與原子的內(nèi)層電子發(fā)生非彈性散射作用時(shí),使原子發(fā)生電離,從而使原子失去一個(gè)內(nèi)層電子而變成離子,并在該電子層對(duì)應(yīng)位置產(chǎn)生一個(gè)空穴,原子為了恢復(fù)到穩(wěn)定態(tài),較外層的電子就會(huì)填補(bǔ)到這個(gè)空穴,在填補(bǔ)過(guò)程中同時(shí)會(huì)產(chǎn)生具有特征能量的X射線,探測(cè)器接收到這些特征X射線后,經(jīng)過(guò)分析處理轉(zhuǎn)換得到譜圖和分析數(shù)據(jù)輸出。

臺(tái)式掃描電鏡1.jpg

  下面我們來(lái)看看掃描電鏡帶能譜的主機(jī)特色:

  僅需鼠標(biāo)即可完成所有操作,無(wú)須對(duì)中光闌等復(fù)雜步驟;

  亮度/對(duì)比度一鍵自適應(yīng),自動(dòng)/手動(dòng)聚焦;

  抽真空時(shí)間小于90秒;

  標(biāo)配光學(xué)導(dǎo)航,搭配多樣品臺(tái),實(shí)現(xiàn)快速找樣及切換樣品;

  信號(hào)采集帶寬10M,掃描速度快;

  視頻模式下實(shí)時(shí)觀察樣品,操作流暢,無(wú)卡頓;

  四分割背散射電子探測(cè)器(多種成像模式)、二次電子探測(cè)器;

  BSE+SE模式(任意比列混合)、集成EDS元素分析功能。


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作者:澤攸科技