掃描電鏡放電需要噴金么
日期:2024-07-10
在掃描電子顯微鏡(SEM)成像過程中,樣品放電(充電效應(yīng))是一個(gè)常見問題,特別是對(duì)于非導(dǎo)電性樣品(如生物樣品、聚合物、陶瓷等)。放電會(huì)導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降,出現(xiàn)亮點(diǎn)、條紋等現(xiàn)象。因此,處理非導(dǎo)電樣品時(shí),噴金(或其他金屬涂層)是常用的解決方法之一。
噴金的作用
噴金是一種通過在樣品表面沉積一層導(dǎo)電金屬(通常是金、鉑或碳)的技術(shù),以提高樣品的導(dǎo)電性,減少充電效應(yīng),從而獲得更清晰的SEM圖像。
噴金步驟
準(zhǔn)備樣品:
確保樣品表面干凈、干燥。
將樣品固定在樣品臺(tái)上,使用導(dǎo)電膠或碳膠帶確保良好的導(dǎo)電接觸。
設(shè)置噴金設(shè)備:
使用濺射鍍膜儀或蒸發(fā)鍍膜儀。
選擇適當(dāng)?shù)陌胁模ń稹K或碳)。
設(shè)置參數(shù),如電流、電壓、沉積時(shí)間等。
進(jìn)行噴金:
在真空環(huán)境中進(jìn)行金屬沉積,確保均勻覆蓋樣品表面。
控制涂層厚度,通常為幾納米到幾十納米,避免涂層過厚影響細(xì)微結(jié)構(gòu)觀察。
其他減少充電效應(yīng)的方法
除了噴金,還有其他方法可以減少或避免充電效應(yīng):
低真空模式(環(huán)境掃描電鏡,ESEM):
在低真空或環(huán)境氣氛條件下操作SEM,允許一些氣體(如水蒸氣)存在,以中和電子束帶來的電荷。
使用導(dǎo)電膠或碳膠帶:
將樣品固定在導(dǎo)電膠或碳膠帶上,確保良好的電接觸,減少充電效應(yīng)。
低加速電壓:
使用較低的加速電壓(通常低于5 kV),減少電子束帶來的電荷積累。
碳涂層:
使用碳涂層代替金屬涂層,特別是在不希望金屬涂層影響樣品觀察或分析的情況下。
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作者:澤攸科技