掃描電鏡（SEM）對焦是調(diào)整掃描電鏡系統(tǒng)以獲得清晰圖像的過程。通常，SEM系統(tǒng)具有自動對焦功能，但也可以手動對焦。以下是手動對焦的一般步驟：

選擇合適的工作距離：首先，選擇合適的工作距離，這取決于所觀察樣品的性質(zhì)和表面特征。通常情況下，距離較近可以提供更高的放大倍數(shù)，但會降低深度焦點(diǎn)范圍。

調(diào)整工作距離：使用控制系統(tǒng)中的調(diào)焦手輪或按鈕，逐步調(diào)整工作距離，直到觀察到樣品表面的清晰圖像。在調(diào)焦過程中，圖像會逐漸變得清晰，一直調(diào)整直到高的清晰度。

調(diào)整焦平面：有時(shí)候，樣品的不同部分可能位于不同的焦平面上。如果需要觀察樣品的不同區(qū)域，可能需要微調(diào)焦平面，以確保整個(gè)樣品表面都處于清晰的焦點(diǎn)范圍內(nèi)。

檢查調(diào)整：調(diào)焦完成后，建議檢查調(diào)整結(jié)果，確保圖像清晰且所有感興趣的特征都能清晰可見?？梢酝ㄟ^改變工作距離和焦平面，進(jìn)一步優(yōu)化圖像質(zhì)量。

值得注意的是，每次更換樣品或調(diào)整掃描電鏡參數(shù)時(shí)，都可能需要重新對焦。對于自動對焦功能，大多數(shù)SEM系統(tǒng)會根據(jù)樣品的特征自動進(jìn)行對焦，但在某些情況下，手動對焦可能更合適或更準(zhǔn)確。

在進(jìn)行對焦時(shí)，需要注意避免使用過高的放大倍數(shù)或調(diào)焦過快，以免損壞樣品或SEM鏡頭。同時(shí)，根據(jù)樣品的特性和所需的分辨率，調(diào)整合適的對焦參數(shù)也是很重要的。

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