臺式掃描電鏡與傳統(tǒng)電子顯微鏡有何不同
日期:2024-02-19
臺式掃描電鏡(SEM)和傳統(tǒng)電子顯微鏡(TEM)在工作原理、應用和圖像獲取方面有一些不同之處:
工作原理:
SEM:SEM使用電子束掃描樣品表面,然后檢測從樣品表面反射、散射或者發(fā)射出來的信號,如二次電子、背散射電子、X射線等,來獲取圖像。
TEM:TEM通過透射電子束穿透樣品,然后檢測透射電子的強度和位置信息,從而獲得樣品的高分辨率內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖像。
應用范圍:
SEM:SEM主要用于表面形貌和表面結(jié)構(gòu)的研究,可用于金屬、陶瓷、生物材料、半導體等樣品的觀察和分析。
TEM:TEM主要用于觀察材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和晶體學特征,對納米結(jié)構(gòu)和原子級別的材料研究尤為重要。
圖像獲?。?/span>
SEM:SEM圖像是樣品表面的三維形貌圖像,具有高深度和高分辨率,能夠顯示樣品的表面形態(tài)和微觀結(jié)構(gòu)。
TEM:TEM圖像是樣品的二維投影圖像,通常具有更高的分辨率,能夠顯示材料的晶體結(jié)構(gòu)、晶面、原子排列等細節(jié)。
樣品準備:
SEM:SEM對樣品的準備要求相對較低,通常不需要太復雜的樣品制備過程,樣品可以直接進行觀察。
TEM:TEM對樣品的制備要求較高,通常需要將樣品制備成非常薄的切片,以確保電子束能夠透射樣品并獲得清晰的圖像。
分辨率:
SEM:SEM的分辨率通常在納米級別,能夠觀察到樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)和細節(jié)。
TEM:TEM的分辨率通常在埃級別(0.1納米),能夠觀察到樣品內(nèi)部的原子級別的細節(jié)。
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作者:澤攸科技