掃描電子顯微鏡（是一種利用電子束替代光子束來(lái)實(shí)現(xiàn)高分辨率成像的顯微鏡。以下是掃描電鏡成像時(shí)電子信號(hào)的產(chǎn)生過(guò)程：

電子源： 掃描電子顯微鏡使用電子槍產(chǎn)生高能電子束。電子槍通常包含一個(gè)熱陰極，通過(guò)加熱來(lái)釋放電子。這些電子經(jīng)過(guò)加速電場(chǎng)，形成一個(gè)高速的電子束。

焦點(diǎn)控制： 通過(guò)一系列的電場(chǎng)和磁場(chǎng)，電子束被聚焦成一個(gè)細(xì)小的束流。這個(gè)過(guò)程類(lèi)似于光學(xué)顯微鏡中的透鏡系統(tǒng)，但使用電場(chǎng)和磁場(chǎng)來(lái)調(diào)整電子束的路徑。

樣品交互： 電子束照射到樣品表面上，與樣品中的原子和分子發(fā)生相互作用。這包括散射、吸收和發(fā)射等過(guò)程。

信號(hào)產(chǎn)生： 樣品中的原子核和電子受到電子束的激發(fā)，產(chǎn)生不同的電子信號(hào)。主要的信號(hào)包括：

二次電子（SE）： 當(dāng)電子束與樣品表面的原子相互作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生二次電子。這些電子被收集，用于生成樣品表面形貌的圖像。二次電子圖像提供樣品表面的形狀和拓?fù)湫畔ⅰ?/span>

反向散射電子（BSE）： 由于原子核的散射，一些電子會(huì)發(fā)生反向散射，產(chǎn)生反向散射電子。BSE圖像用于獲取關(guān)于樣品的化學(xué)成分信息。

特征X射線： 樣品中的電子可能被激發(fā)到一個(gè)高能級(jí)，當(dāng)它們返回到低能級(jí)時(shí)，會(huì)釋放出X射線。這些特征X射線用于進(jìn)行能譜分析，以確定樣品的元素組成。

探針掃描： 電子束在樣品表面上以一定的模式掃描，形成二次電子、反向散射電子和X射線的信號(hào)圖像。這些圖像被收集和整合，形成掃描電子顯微鏡圖像。

通過(guò)收集這些不同的信號(hào)，掃描電子顯微鏡能夠提供高分辨率和深度的表面形貌和化學(xué)成分信息，使其在研究微觀結(jié)構(gòu)和納米級(jí)別的樣品中得到廣泛應(yīng)用。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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