電子背散射（BSE）成像是一種掃描電子顯微鏡（SEM）成像技術(shù)，它利用來(lái)自樣品表面的后向散射電子來(lái)生成高對(duì)比度的影像。BSE成像通常用于獲取有關(guān)樣品的原子成分和晶體結(jié)構(gòu)的信息。

以下是進(jìn)行SEM電子背散射成像的一般步驟：

樣品準(zhǔn)備：首先，您需要準(zhǔn)備您的樣品。樣品可以是固體、薄膜、顆粒等。確保樣品表面光滑，清潔并且導(dǎo)電性良好。

掃描電子顯微鏡設(shè)置：將SEM設(shè)置為BSE成像模式。這通常包括選擇加速電壓、適當(dāng)?shù)墓ぷ骶嚯x以及其他相關(guān)參數(shù)。

樣品加載：將樣品放置在SEM樣品臺(tái)上，并確保它牢固固定。通常使用導(dǎo)電性樣品支架，以確保樣品與SEM中的電子束之間有良好的電子導(dǎo)通。

調(diào)整參數(shù)：根據(jù)您的樣品，調(diào)整SEM參數(shù)，包括電子束電流、放大倍數(shù)等。

獲取圖像：使用SEM操縱系統(tǒng)，將電子束聚焦在樣品表面。BSE是由樣品中的原子核散射電子產(chǎn)生的，因此，獲得的BSE圖像提供了關(guān)于樣品成分和晶體結(jié)構(gòu)的信息。

圖像分析：采集的BSE圖像可以用于分析樣品的元素分布、晶體紋理、相變等信息。通常使用SEM軟件進(jìn)行圖像處理和分析。

電子背散射成像是SEM中的常見(jiàn)技術(shù)之一，用于獲得樣品的詳細(xì)信息，特別是在材料科學(xué)和地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域。這種技術(shù)可幫助研究人員深入了解樣品的微觀結(jié)構(gòu)和成分。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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