掃描電鏡（SEM）中樣品的導(dǎo)電性對(duì)成像參數(shù)有重要影響。SEM成像原理涉及向樣品表面發(fā)射電子束，然后測量從樣品表面反射或散射回來的電子，從而生成圖像。導(dǎo)電性主要影響以下幾個(gè)方面：

電荷積累和放電：對(duì)于非導(dǎo)電樣品，當(dāng)電子束照射表面時(shí)，電荷可能會(huì)在樣品表面積累。這種電荷積累可能會(huì)導(dǎo)致圖像中的偽影，例如輝光或充電環(huán)。導(dǎo)電性較差的樣品更容易積累電荷。為了避免這種問題，通常需要對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行導(dǎo)電性處理，如涂覆導(dǎo)電性薄膜。

電子逸出效率：導(dǎo)電樣品通常能夠更有效地將從電子源發(fā)射的電子束散射回到檢測器，從而獲得更強(qiáng)的信號(hào)。非導(dǎo)電樣品可能會(huì)導(dǎo)致信號(hào)較弱，需要更長的曝光時(shí)間，或者圖像質(zhì)量較差。

分辨率：導(dǎo)電性樣品有助于獲得更高的分辨率，因?yàn)殡娮幽芨菀椎卮┩笜悠凡⑻峁└敿?xì)的信息。非導(dǎo)電樣品可能會(huì)限制分辨率，因?yàn)殡娮邮c樣品相互作用較強(qiáng)。

因此，樣品的導(dǎo)電性在掃描電鏡成像中是一個(gè)重要因素。對(duì)于非導(dǎo)電樣品，通常需要采取措施來提高其導(dǎo)電性，以獲得更好的圖像質(zhì)量和準(zhǔn)確的分析結(jié)果。這可以通過涂覆導(dǎo)電性薄膜、金屬噴霧涂層、導(dǎo)電粘貼劑或碳涂層等方法來實(shí)現(xiàn)。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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