掃描電鏡（SEM）中的電子探針和能量色散分析（EDS）是用于獲取材料樣品化學成分和表面拓撲信息的重要技術。以下是它們的工作原理和應用：

電子探針（Electron Probe）： 電子探針是掃描電鏡中的一種技術，通過聚焦電子束在樣品表面產(chǎn)生的相互作用來獲取有關樣品的信息。這些相互作用包括以下幾個方面：

二次電子發(fā)射（Secondary Electron Emission）： 當高能電子束擊中樣品表面時，會產(chǎn)生二次電子發(fā)射。這些二次電子可以用于生成高分辨率的表面拓撲圖像。

散射電子（Backscattered Electrons）： 部分電子束被樣品的原子核散射回來，形成散射電子圖像。散射電子圖像提供了樣品的組成信息，通常與樣品中的原子數(shù)量成正比。

X射線發(fā)射（X-ray Emission）： 電子束與樣品相互作用時，激發(fā)了內(nèi)部原子的電子，導致它們跳躍到更高能級，然后回到基態(tài)時發(fā)射X射線。這些X射線具有特定的能量，可以用于識別樣品中的元素。

能量色散分析（EDS）： 能量色散分析是一種用于確定樣品化學成分的技術，它通常與掃描電鏡一起使用。它的工作原理如下：

X射線檢測： 當電子束與樣品相互作用并激發(fā)內(nèi)部原子時，樣品會發(fā)射X射線。這些X射線具有不同的能量，與被激發(fā)的元素有關。

X射線能量分析： EDS系統(tǒng)使用能量分散儀來測量X射線的能量。不同元素的X射線具有不同的能量特征，因此可以根據(jù)X射線的能譜確定樣品中的元素。

定量分析： 通過比較測得的X射線能譜與已知元素的標準庫，可以定量分析樣品中的元素含量。這可以用來確定元素的百分比和相對濃度。

ZEM18臺式掃描電鏡

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