掃描電鏡的分辨率非常高，通常能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的分辨率。分辨率是指顯微鏡能夠分辨并顯示兩個(gè)鄰近對(duì)象或特征之間的距離。

掃描電鏡的分辨率受到多種因素的影響，包括電子束的能量、樣品的性質(zhì)以及儀器的設(shè)計(jì)和性能。通常，掃描電鏡的分辨率在0.5納米（0.5 nm）到5納米（5 nm）之間，具體數(shù)值取決于特定儀器的規(guī)格。一些掃描電鏡甚至可以達(dá)到更高的分辨率。

以下是影響SEM分辨率的主要因素：

電子束能量： 較高能量的電子束通常具有更短的波長(zhǎng)，因此具有更高的分辨率。然而，電子束能量也會(huì)影響樣品的表面相互作用和成像深度。

透鏡和檢測(cè)器設(shè)計(jì)： SEM使用一系列電子透鏡和檢測(cè)器來(lái)聚焦和收集電子信號(hào)。儀器的設(shè)計(jì)和性能會(huì)影響分辨率。

樣品準(zhǔn)備： 樣品的表面準(zhǔn)備和涂覆可能會(huì)影響SEM圖像的質(zhì)量和分辨率。

工作模式： SEM可以在不同的成像模式下操作，包括二次電子成像（SEI）和反射電子成像（BEI）。不同模式下的分辨率可能有所不同。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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