掃描電鏡（SEM）的電子源通常有兩種主要類型：

熱陰極電子源： 熱陰極電子源是SEM中常見的類型之一。它基于熱電子發(fā)射原理，其中一個熱陰極（通常是一根細絲或鎢絲）受熱至高溫，從而發(fā)射出電子。這些發(fā)射的電子經(jīng)過適當?shù)木劢购图铀俸?，被用于形成電子束，然后被聚焦到樣品表面，以獲取圖像。

熱陰極電子源的優(yōu)點：

可以提供高電子流密度，產(chǎn)生明亮的圖像。

適用于大多數(shù)SEM應用。

相對穩(wěn)定和耐用。

熱陰極電子源的缺點：

需要較長的啟動時間，因為陰極需要加熱至高溫。

由于熱陰極的熱膨脹，可能需要定期維護和對焦。

場發(fā)射電子源： 場發(fā)射電子源是一種高性能的電子源類型，通常用于高分辨率SEM。它利用強電場從極小的金屬尖端（通常是一根尖銳的鎢尖）發(fā)射電子。場發(fā)射電子源能夠提供非常高的電子流密度，因此可以實現(xiàn)高分辨率和成像。

場發(fā)射電子源的優(yōu)點：

提供高電子流密度，適用于高分辨率成像。

較快的啟動時間，幾乎無需預熱。

長壽命，需要較少的維護。

場發(fā)射電子源的缺點：

成本較高。

對操作環(huán)境和維護要求較高。

選擇電子源類型通常取決于SEM的應用需求。熱陰極電子源通常足夠用于大多數(shù)標準SEM應用，而場發(fā)射電子源通常在需要高分辨率和性能的應用中使用，如納米尺度成像和表面分析。不同制造商的SEM設備可能提供不同類型的電子源，因此在選擇SEM設備時，要考慮應用需求以及電子源類型的性能特點。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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