掃描電子顯微鏡（SEM）是一種強(qiáng)大的顯微鏡，它使用電子束而不是光來照射樣品，從而實(shí)現(xiàn)更高的分辨率。SEM中的二次電子探測(cè)是一種常見的顯微鏡技術(shù)，用于觀察樣品表面的拓?fù)浜托蚊蔡卣鳌Ｒ韵率荢EM二次電子探測(cè)的基本原理：

電子束照射： SEM通過電子槍產(chǎn)生高能電子束，通常加速至數(shù)千伏到數(shù)十千伏的能量。這個(gè)高能電子束被聚焦成一個(gè)細(xì)小的束，并通過一系列的透鏡和磁場(chǎng)來控制其方向和聚焦度。

樣品表面交互： 電子束照射樣品表面時(shí)，樣品中的原子會(huì)與電子相互作用。這些相互作用包括電子散射、逸出電子、次級(jí)電子和背散射電子等。其中，次級(jí)電子是SEM二次電子探測(cè)的主要來源。

次級(jí)電子產(chǎn)生： 電子束與樣品表面原子相互作用時(shí)，能量轉(zhuǎn)移導(dǎo)致從樣品表面釋放出來的電子，這些電子被稱為次級(jí)電子。這些次級(jí)電子是從樣品表面深度相對(duì)較淺的區(qū)域產(chǎn)生的。

探測(cè)器收集： 一枚稱為二次電子探測(cè)器的器件用于收集和檢測(cè)從樣品表面發(fā)射的次級(jí)電子。這個(gè)探測(cè)器通常位于SEM的側(cè)面，靠近樣品。

信號(hào)處理和成像： 探測(cè)器收集到的次級(jí)電子信號(hào)被放大、處理和轉(zhuǎn)換成圖像。通過掃描電子束在樣品表面移動(dòng)，可以獲取樣品表面的圖像，這些圖像顯示了樣品表面的拓?fù)?、形貌和結(jié)構(gòu)特征。

SEM二次電子探測(cè)的優(yōu)點(diǎn)包括高分辨率、表面拓?fù)湫畔?、深度穿透能力較低（通常在納米尺度范圍內(nèi)），以及對(duì)導(dǎo)電和非導(dǎo)電樣品都有較好的適用性。這使得SEM二次電子探測(cè)成為材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)和許多其他領(lǐng)域的重要工具，用于觀察和研究微小結(jié)構(gòu)和表面形貌。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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