掃描電子顯微鏡是一種強大的顯微鏡，可以通過電子束而不是光束來成像樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)。其成像機制涉及以下幾個關(guān)鍵步驟：

電子源產(chǎn)生電子束： SEM使用一個電子槍來產(chǎn)生高能電子束。在電子槍中，熱絲被加熱，產(chǎn)生電子，然后由電場聚焦形成一個細束。

聚焦電子束： 產(chǎn)生的電子束被聚焦成一個細小的束，類似于光學(xué)顯微鏡中的焦點。

樣品表面的激發(fā)和信號發(fā)射： 當(dāng)電子束照射到樣品表面時，樣品表面的原子會被電子擊中，導(dǎo)致電子從樣品中被排出。這些擊出的電子分為兩種類型：

次級電子（SE）： 這些電子是從樣品表面的外層排出的。它們提供了關(guān)于樣品表面拓撲和形狀的信息。

反射電子（BSE）： 這些電子是從樣品內(nèi)部擊出的，并受到不同能量的束撞離。它們提供了有關(guān)樣品的組成和密度的信息。

信號收集和檢測： 次級電子和反射電子被收集并發(fā)送到探測器中進行檢測。次級電子探測器和反射電子探測器是兩種常用的探測器類型。

掃描樣品表面： SEM通過在樣品表面上進行掃描，移動電子束，以獲取樣品不同區(qū)域的信息。這個過程產(chǎn)生了一個逐點的圖像，可以形成樣品的表面圖像。

成像和顯示： 收集到的信號被轉(zhuǎn)換為圖像，可以在顯示屏上觀察。圖像的亮度或顏色通常用來表示樣品表面的特征和性質(zhì)。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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