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掃描電鏡有哪些主要參數(shù)?

日期:2023-07-11

掃描電子顯微鏡(是一種常用的高分辨率顯微鏡,通過(guò)掃描樣品表面并檢測(cè)從樣品表面反射的電子束來(lái)獲得圖像。以下是SEM的一些主要參數(shù):

加速電壓:加速電壓是指施加在電子束上的電場(chǎng)力,以加速電子束的能量。它通常以千伏(kV)為單位。較高的加速電壓可以提供更高的穿透力和更大的樣品深度。

分辨率:SEM的分辨率是指其能夠區(qū)分兩個(gè)相鄰物體或特征的能力。它取決于電子束的聚焦能力和檢測(cè)系統(tǒng)的性能。SEM通常具有較高的分辨率,可以觀察到亞微米尺度的細(xì)節(jié)。

透射電子檢測(cè)器:SEM使用透射電子檢測(cè)器來(lái)檢測(cè)從樣品表面散射的次級(jí)電子。次級(jí)電子的檢測(cè)可以提供有關(guān)樣品表面拓?fù)浜托蚊驳男畔ⅰ?/span>

背散射電子檢測(cè)器:SEM中的背散射電子檢測(cè)器用于檢測(cè)從樣品表面背向散射的高能電子。背散射電子的檢測(cè)可以提供關(guān)于樣品的組成和原子序數(shù)的信息。

樣品舞臺(tái):樣品舞臺(tái)是放置樣品的平臺(tái),可以控制樣品的位置、旋轉(zhuǎn)和傾斜。它允許在不同角度和方向下觀察樣品,并進(jìn)行局部分析。

真空系統(tǒng):SEM中需要維持高真空環(huán)境,以避免電子束與氣體分子相互作用并減少散射。真空系統(tǒng)包括真空室、泵和氣體排放系統(tǒng)。

這些是SEM的一些主要參數(shù),不同型號(hào)的SEM可能具有其他參數(shù)和功能,以適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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掃描電鏡產(chǎn)品聯(lián)系方式


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作者:澤攸科技