掃描電鏡的工作模式包括哪些?
日期:2023-07-07
掃描電子顯微鏡(SEM)具有多種工作模式,可根據不同的需求和應用選擇適當的模式。以下是常見的幾種SEM工作模式:
高真空模式:高真空模式是SEM的基本工作模式。在該模式下,樣品和檢測器被置于真空環(huán)境中,以減少電子束與氣體的相互作用,提供清晰的圖像和較高的分辨率。高真空模式適用于大多數樣品觀察和分析,尤其是固態(tài)樣品。
低真空模式:低真空模式允許在較高的氣壓下進行觀察,而無需將樣品進行涂覆或處理。這種模式適用于非導電樣品、生物樣品、濕潤樣品和松散樣品等不適合在高真空下觀察的樣品。低真空模式可提供更高的樣品適應性,并減少電子束與氣體相互作用產生的充電效應。
透射電子顯微鏡模式:某些SEM設備具備透射電子顯微鏡模式,允許使用透射電子探測器進行樣品的透射電子顯微觀察。TEM模式可以提供更高的分辨率和更詳細的樣品內部信息,適用于納米級別的結構和成分分析。
掃描透射電子顯微鏡模式:STEM模式將電子束掃描到樣品上,同時收集透射電子的散射信號,用于樣品表面的高分辨率成像和元素分析。STEM模式在高分辨率成像和原子級結構分析方面具有很高的能力。
分析模式:SEM還可以與各種分析技術結合使用,例如能量色散X射線光譜和電子背散射衍射。這些分析技術可用于獲取樣品的化學成分、結晶結構、晶格取向等信息。
每種工作模式具有不同的優(yōu)勢和適用范圍,具體的選擇應根據樣品類型、所需分辨率、分析目的和設備功能來確定。在使用SEM之前,建議參考SEM制造商的指南和技術規(guī)格,以了解具體設備的工作模式和操作方法。
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作者:澤攸科技