掃描電鏡的真空系統(tǒng)是確保在觀察過程中維持適當?shù)恼婵窄h(huán)境的關鍵組成部分。真空系統(tǒng)主要由真空室、泵和密封組件組成。

對于SEM的真空系統(tǒng)，通常有以下要求和考慮因素：

高真空環(huán)境：SEM需要在高真空環(huán)境下進行觀察，以避免電子束與氣體分子之間的相互作用。常見的要求是達到10^-4至10^-6帕的高真空。

泄漏率：真空系統(tǒng)的泄漏率是指在給定時間內(nèi)氣體從系統(tǒng)中逸出的速率。低泄漏率是實現(xiàn)穩(wěn)定高真空環(huán)境的關鍵。通常，SEM的泄漏率要求在10^-7帕·升/秒以下。

泵系統(tǒng)：SEM使用的泵系統(tǒng)通常包括機械泵和分子泵。機械泵用于快速抽取大量氣體，分子泵則用于進一步將氣體抽取到較高真空。泵系統(tǒng)的選擇和性能直接影響到真空系統(tǒng)的達到和維持。

密封組件：真空系統(tǒng)的密封組件需要具有良好的密封性能，以防止氣體泄漏進入系統(tǒng)或系統(tǒng)內(nèi)氣體泄漏到外部環(huán)境。常見的密封組件包括O型圈、密封墊等。

氣體處理：SEM真空系統(tǒng)中也需要考慮氣體處理的問題，如去除水蒸氣、有機物等雜質(zhì)氣體，以保持干凈的觀察環(huán)境。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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