掃描電鏡的探針直徑和形狀對(duì)樣品觀察有著重要的影響。探針直徑和形狀直接影響掃描電鏡成像的分辨率、對(duì)比度、深度焦點(diǎn)和表面形貌等方面。

分辨率：探針的直徑?jīng)Q定了成像時(shí)電子束的大小，較小直徑的探針可以提供更高的分辨率，使得細(xì)小的細(xì)節(jié)和結(jié)構(gòu)可以被更好地觀察和分辨。

對(duì)比度：探針的直徑和形狀也影響圖像的對(duì)比度。較小的探針直徑可以減少散射和背景信號(hào)，提高圖像的對(duì)比度，使樣品的細(xì)節(jié)更加清晰。

深度焦點(diǎn)：較大的探針直徑可能會(huì)導(dǎo)致深度焦點(diǎn)范圍的減小，也就是說，樣品不同深度的區(qū)域在垂直方向上不能同時(shí)保持清晰。較小的探針直徑可以增加深度焦點(diǎn)范圍，使得樣品表面不同區(qū)域都能獲得較好的清晰度。

表面形貌：探針的形狀也會(huì)影響樣品的表面形貌。常見的掃描電鏡探針形狀有圓形和非圓形（例如矩形或橢圓形）。非圓形探針在樣品表面掃描時(shí)，可能會(huì)產(chǎn)生不同方向上的表面形貌信息，提供更全的觀察。

綜上所述，探針直徑和形狀的選擇需要根據(jù)具體的樣品特性和觀察需求來進(jìn)行。對(duì)于較高分辨率和對(duì)比度要求的觀察，可以選擇較小的探針直徑；而對(duì)于需要觀察樣品表面形貌和深度結(jié)構(gòu)的情況，可以選擇合適的探針形狀和直徑。在實(shí)際觀察中，可能需要進(jìn)行多次試驗(yàn)和調(diào)整，以獲得高質(zhì)量的觀察效果。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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