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掃描電鏡中的樣品導(dǎo)電處理方法

日期:2023-06-28

在掃描電鏡(SEM)中觀察樣品時,樣品的導(dǎo)電性是一個重要考慮因素。由于SEM使用電子束進行掃描,需要樣品具有一定的導(dǎo)電性,以便電子能夠流動并產(chǎn)生信號。

以下是幾種常見的樣品導(dǎo)電處理方法:

金屬鍍膜:這是常用的樣品導(dǎo)電處理方法之一。在樣品表面通過物理氣相沉積(如蒸鍍)或化學(xué)氣相沉積(如濺射鍍膜)涂覆一層薄金屬,如金、銀或鉑。金屬膜提供了良好的導(dǎo)電性,可以使電子束在樣品表面均勻分布,同時還可以增加對比度。

碳噴涂:碳噴涂是一種常用的樣品導(dǎo)電處理方法,特別適用于生物樣品或非導(dǎo)電材料。在樣品表面噴涂一層薄碳,通常使用碳蒸發(fā)儀或碳噴涂儀。碳噴涂提供了一層導(dǎo)電的覆蓋層,有助于電子束的傳導(dǎo),同時還可以減少電荷積累和偽影。

導(dǎo)電膠粘劑:對于較小的樣品或無法進行涂覆的樣品,可以使用導(dǎo)電膠粘劑。導(dǎo)電膠粘劑是一種具有良好導(dǎo)電性的膠狀物質(zhì),可以在樣品和支架之間形成導(dǎo)電連接。樣品被固定在導(dǎo)電膠粘劑上,以保證良好的導(dǎo)電性。

金屬導(dǎo)電粉末:將導(dǎo)電粉末(如金屬粉末)均勻撒在樣品表面,以提供導(dǎo)電通路。這種方法特別適用于大型或不規(guī)則形狀的樣品。

在選擇合適的導(dǎo)電處理方法時,需要考慮樣品類型、形狀和所需分辨率等因素。適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電處理有助于減少電子束散射、偽影和充電效應(yīng),從而提高SEM圖像的質(zhì)量和準(zhǔn)確性。

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技