在SEM掃描電鏡中，像散指的是圖像出現(xiàn)的模糊和扭曲現(xiàn)象。為了消除像散，可以采取以下措施：

調(diào)整聚焦：SEM中，調(diào)整聚焦是解決像散問題的基本方法之一。通過調(diào)整聚焦，可以提高電子束的聚焦度，從而獲得更清晰的圖像。

提高樣品表面平整度：樣品表面平整度越高，SEM圖像的像散就越小。因此，在制備樣品時，應(yīng)盡可能使樣品表面平整，以減少像散的產(chǎn)生。

選擇合適的工作距離：工作距離是指電子槍與樣品之間的距離。選擇合適的工作距離，可以減小像散的發(fā)生，提高SEM圖像的清晰度。

降低掃描速度：降低掃描速度可以減小像散的產(chǎn)生，提高SEM圖像的清晰度。但是，降低掃描速度可能會降低SEM成像的效率，因此需要根據(jù)具體情況權(quán)衡利弊。

使用電子束抑制器：電子束抑制器是一種附加設(shè)備，可以減小像散的發(fā)生。在SEM中，電子束抑制器可以通過消除電子束的背散射來減小像散的產(chǎn)生，從而提高SEM圖像的清晰度。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

以上措施可以單獨或組合使用，以消除SEM圖像中的像散，并獲得更清晰的圖像。

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